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发明名称 INTEGRATED-CIRCUIT PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11312740(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19990082033 申请日期 1999.03.25
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 JOYNER KEITH A
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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