| 发明名称 |
WAFER DRYER AND WATER DRYING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11312659(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19990049805 |
申请日期 |
1999.02.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OGUCHI HISASHI;TOMITA HIROSHI;NADAHARA SOICHI;OKUMURA KATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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