| 发明名称 |
METHOD FOR DETECTING IRON CONTAMINATION IN CZ SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11312719(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19980288119 |
申请日期 |
1998.10.09 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRONIC METALS CO LTD |
发明人 |
TAIMURAAZU MUCHEDOURIZE;MATSUMOTO KEI |
| 分类号 |
G01N22/00;G01N24/10;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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