发明名称 MANUFACTURE OF WIDE AND FLATTENED SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11312679(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19990004599 申请日期 1999.01.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD 发明人 DEN KOETSU;RO JUNYONG;RI JUNSAI
分类号 H01L21/3205;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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