发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE-TESTING SYSTEM AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11311661(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19980120180 申请日期 1998.04.30
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUO SHOICHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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