| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR GENERATING COLD ELECTRON PLASMA FOR ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11312666(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19990077640 |
申请日期 |
1999.03.23 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JONE H KELLER;DENNIS K CULTAS |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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