| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11312742(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19980118365 |
申请日期 |
1998.04.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MAEJIMA TAKASHI;KOTAKE YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/316;H01L21/318;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
