发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EMITTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11312600(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19990074962 申请日期 1999.03.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TADOKORO MASAHIRO;HIRAMOTO KAZUO;HIROTA JUNICHI;NISHI MASATSUGU
分类号 G21K5/04;A61N5/10;H05H7/10;H05H13/04;(IPC1-7):H05H7/10 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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