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发明名称 FORMATION OF COPPER-ALLOY FILM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11312655(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19980121051 申请日期 1998.04.30
申请人 SONY CORP 发明人 HOSHINO KAZUHIRO
分类号 C25D3/58;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/288;H01L21/320 主分类号 C25D3/58
代理机构 代理人
主权项
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