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申请公布号 JP2975740(B2) 申请公布日期 1999.11.10
申请号 JP19910257975 申请日期 1991.10.04
申请人 SANYO DENKI KK;TOTSUTORI SANYO DENKI KK 发明人 YAMAMOTO SHIGERU;HASHIMOTO MASAYASU
分类号 C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
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