| 发明名称 |
HEAT-TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11310499(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19980121176 |
申请日期 |
1998.04.30 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
OKADA HIROSHI;KAWANAKA TAKEO;UEHARA KAZUHIRO;SAKASHITA YOSHIHIKO |
| 分类号 |
C30B29/40;H01L21/324;H01L21/477;(IPC1-7):C30B29/40 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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