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发明名称 TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11309423(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19980134312 申请日期 1998.04.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ISHIHARA AKIRA;NANBA KAZUYOSHI;YONEMIZU AKIRA;MIYAZAKI TAKANORI
分类号 B08B1/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/00 主分类号 B08B1/00
代理机构 代理人
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