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发明名称
ON-SITE GENERATION OF SILANE GAS AND SYSTEM THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH11310410(A)
申请公布日期
1999.11.09
申请号
JP19980115444
申请日期
1998.04.24
申请人
UBE IND LTD
发明人
MATSUTAME CHIKANOBU
分类号
F17C7/00;C01B33/04;H01L51/00;H01L51/05;(IPC1-7):C01B33/04
主分类号
F17C7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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