| 发明名称 |
TEMPERATURE CONTROLLER AND EXPOSURE DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11312632(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19980117589 |
申请日期 |
1998.04.27 |
| 申请人 |
NIKON CORP;SENDAI NIKON:KK |
发明人 |
NAGAHASHI RYOCHI;SUZUKI HIROYUKI;ARAI KOJI;ORIGASA TSUNEAKI |
| 分类号 |
F28D21/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L23/34;H01L23/473;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
F28D21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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