| 发明名称 |
FORMATION OF HIGH ASPECT RATIO TRENCH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11312661(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19980118618 |
申请日期 |
1998.04.28 |
| 申请人 |
JAPAN AVIATION ELECTRONICS IND LTD |
发明人 |
KATO YOSHICHIKA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
