发明名称
摘要
申请公布号 JP2972763(B1) 申请公布日期 1999.11.08
申请号 JP19980322229 申请日期 1998.11.12
申请人 KYUSHU NIPPON DENKI KK 发明人 TAKAHASHI MASAOMI
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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