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发明名称
摘要
申请公布号
JP2972763(B1)
申请公布日期
1999.11.08
申请号
JP19980322229
申请日期
1998.11.12
申请人
KYUSHU NIPPON DENKI KK
发明人
TAKAHASHI MASAOMI
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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