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发明名称
摘要
申请公布号 JP2973908(B2) 申请公布日期 1999.11.08
申请号 JP19960008238 申请日期 1996.01.22
申请人 SUMITOMO KINZOKU KOGYO KK 发明人 FUJIWARA HIDEKI;NISHIMOTO MANABU;INAMI SHUICHI
分类号 C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
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