发明名称 SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS AND SUBSTRATE MOUNTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11307959(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980112297 申请日期 1998.04.22
申请人 SONY CORP 发明人 ITO YOSHINOBU;MURAKAMI MASAAKI
分类号 H05K3/34;H05K3/22;H05K7/14;(IPC1-7):H05K7/14 主分类号 H05K3/34
代理机构 代理人
主权项
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