发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11307764(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980108364 申请日期 1998.04.17
申请人 SONY CORP 发明人 TOKUNAGA KAZUHIKO;OTSUKA WATARU
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址