| 发明名称 |
CONDUCTOR COMPONENT OF HIGH FREQUENCY INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11307727(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980115412 |
申请日期 |
1998.04.24 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
MIYAZAKI MASARU;HATAKEYAMA HIDEKI;EOMO TOMOHIKO |
| 分类号 |
H01L29/417;H01L21/338;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/812;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L29/417 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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