| 摘要 |
<p>본 발명의 목적은 리드 프레임 또는 BGA타입 반도체 장치의 불량여부를 체크하기 위한 표면 검사장치를 제공하는 데 있다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 이송대(12)에 연속 위치되는 리드프레임(13)과, 상기 리드프레임의 상하 측에 위치하며 각각의 광원(15,18)과 하프미러(26,29)를 가지는 미러블록(16,19)과, 상기 미러블록을 통해 입사되는 리드프레임의 전면 상과 후면 상을 촬영하는 카메라(14,17)와, 상기 카메라에 의해 촬영된 리드프레임의 이미지 디지털 데이터를 사전에 메모리(21)에 저장시켜 놓은 디지털 데이터 값에 비교하여 리드프레임 불량일 경우 경보용 알람을 구동하는 시스템 콘트롤러(10)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명 장치는 반도체 장치의 리드프레임 또는 반도체 장치의 BGA단자에서 접점 오픈이나 변색 등의 결함이 발생되어 있는 경우 그 반도체 장치를 정확하고 신속하게 분류해 내는 것을 가능하게 한다.</p> |
