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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11307497(A)
申请公布日期
1999.11.05
申请号
JP19980129503
申请日期
1998.04.23
申请人
OMI TADAHIRO;ULTLA CLEAN TECHNOLOGY KAIHATSU KENKYUSHO:KK
发明人
II TOSHIHIRO;OMI TADAHIRO;NITTA TAKEHISA
分类号
G02F1/1333;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;G02F1/133
主分类号
G02F1/1333
代理机构
代理人
主权项
地址
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