| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11307478(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980305553 |
申请日期 |
1998.10.27 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>;SIEMENS AG;TOSHIBA CORP |
发明人 |
DARRYL LESTINO;YANG CHI-HUA;HANS PETZLBERGER;KATADA TOMIO;AOCHI HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L23/52;C23C14/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
