发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11307025(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
申请号 |
JP19980110752 |
申请日期 |
1998.04.21 |
申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
SAKAZAKI TOMOHIRO;TAKIGAWA MASAMI |
分类号 |
G03F7/20;H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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