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发明名称 PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH11307444(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980131196 申请日期 1998.04.24
申请人 CANON INC 发明人 UNYA YASUYUKI
分类号 G02B13/24;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G02B13/24
代理机构 代理人
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