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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND PROBE UNIT
摘要
申请公布号
JPH11307665(A)
申请公布日期
1999.11.05
申请号
JP19980107354
申请日期
1998.04.17
申请人
NEC CORP
发明人
SEINO KENICHI
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;H01L23/04;(IPC1-7):H01L23/04
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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