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发明名称 INSPECTION DEVICE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH11305185(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980123989 申请日期 1998.04.17
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KAMEYAMA KENJI
分类号 G01R31/28;G01R31/00;G02F1/13;G09F9/00;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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