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发明名称
HEAT TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号
JPH11307463(A)
申请公布日期
1999.11.05
申请号
JP19980126905
申请日期
1998.04.21
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
OKASE WATARU;YAGI YASUSHI;OKADA YOSHITAKA
分类号
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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