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发明名称 ADJUSTING METHOD FOR SAMPLE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11304419(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980107720 申请日期 1998.04.17
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 KANO EIJI
分类号 G01B11/00;G01B15/00;G01B15/08;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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