| 发明名称 |
METHOD FOR REDUCING STRESS OF BLANKET TUNGSTEN FILM BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11307480(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980099478 |
申请日期 |
1998.04.10 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
KITAZAKI MASAKI;TANAKA KEIICHI |
| 分类号 |
C23C16/14;C23C16/02;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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