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发明名称 BRUSH CLEANING DEVICE AND WORK-CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH11307495(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980112361 申请日期 1998.04.22
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;MIMASU SEMICONDUCTOR INDUSTRY CO LTD 发明人 KOBAYASHI KENJI;SAITO TOSHIICHI
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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