发明名称 SUBSTRATE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH11307411(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980116676 申请日期 1998.04.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NISHIHARA HIDEO;NAKAJIMA TOSHIHIRO
分类号 G02F1/1333;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02;G02F1/133 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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