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发明名称 EXHAUSTER IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SURFACE TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH11307456(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980108944 申请日期 1998.04.20
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HAKU TATSUYA
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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