发明名称 NON-ALLOY ELECTRODE CONTACT LAYER AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPH11307457(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980111772 申请日期 1998.04.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SUGIURA HIDEO;NOGUCHI ETSUO;SUZAKI YASUMASA
分类号 H01L21/28;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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