| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69323343(T2) |
申请公布日期 |
1999.11.04 |
| 申请号 |
DE19936023343T |
申请日期 |
1993.03.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KUNITSUGU, YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/306;G02B6/124;G03F7/00;H01S5/00;(IPC1-7):G03F7/00;G02B5/18 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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