发明名称 Durch Ionenstrahl unterstütztes Verfahren zum Herstellen einer Beschichtung aus diamantartigem Kohlenstoff
摘要
申请公布号 DE69508857(T2) 申请公布日期 1999.11.04
申请号 DE1995608857T 申请日期 1995.02.21
申请人 SOUTHWEST RESEARCH INSTITUTE, SAN ANTONIO 发明人 DEARNALEY, GEOFFREY
分类号 C23C14/06;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/06;C23C16/48;C23C16/26 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址