发明名称 Änderungen in -oder in Beziehung zu - RF-Plasmareaktoren und deren Betriebsmethoden
摘要
申请公布号 DE69602116(T2) 申请公布日期 1999.11.04
申请号 DE19966002116T 申请日期 1996.02.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HANAWA, HIROJI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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