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发明名称
摘要
申请公布号
JP2970620(B2)
申请公布日期
1999.11.02
申请号
JP19970286398
申请日期
1997.10.20
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
YUZAWA OSAMU
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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