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经营范围
发明名称
SUBSTRATE END SURFACE POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11300588(A)
申请公布日期
1999.11.02
申请号
JP19980106237
申请日期
1998.04.16
申请人
SHIBA GIKEN:KK
发明人
FUKUSHIMA YOICHI
分类号
B24B9/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/00
主分类号
B24B9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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