发明名称 GAS TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11302852(A) 申请公布日期 1999.11.02
申请号 JP19980124236 申请日期 1998.04.17
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMOTO TAKESHI;OGAWA MASAICHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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