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发明名称 SUBSTRATE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11300193(A) 申请公布日期 1999.11.02
申请号 JP19980113931 申请日期 1998.04.23
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SHINOZAKI KENJI
分类号 F04D19/04;B01J3/02;F17D1/02;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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