| 发明名称 |
HEAT RESISTANT SYNTHETIC SILICA GLASS FOR INTERCEPTING IMPURITY METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11302026(A) |
申请公布日期 |
1999.11.02 |
| 申请号 |
JP19980126728 |
申请日期 |
1998.04.21 |
| 申请人 |
SHINETSU QUARTZ PROD CO LTD |
发明人 |
MARUKO YOICHIRO;YAMAGATA SHIGERU |
| 分类号 |
C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;C03C3/06;H01L21/22;(IPC1-7):C03B20/00 |
主分类号 |
C03B8/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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