| 主权项 |
1.一种形成氧化物粉尘层于平面基板之方法,该方法包含步骤为:(a)制造出不含卤化物气流,其包含一组多种为蒸气形式之有机金属化合物,其能够转化为氧化物形式;(b)将该气流通至转化位址以形成氧化物粉尘颗粒之混合物;以及(c)将平面支撑放置紧邻于转化位址以及沉积氧化物粉尘颗粒于支撑上以形成凝聚性氧化物粉尘层。2.依据申请专利范围第1项之方法,其中产生包含一组多种为蒸气形式有机金属化合物而能够转化为氧化物形式之不含卤化物气流步骤更进一步包含将该气流与气态燃料混合。3.依据申请专利范围第1项之方法,其中将平面支撑放置紧邻于转化位址之步骤更进一步包含将平面性支撑水平地放置高于转化位址。4.依据申请专利范围第1项之方法,其中有机金属化合物包含至少两种材料由八甲基环四矽氧烷,三甲基磷酸盐,三乙基硼酸盐,异丙氧基钛以及乙氧基锗选取出。5.依据申请专利范围第1项之方法,其中有机金属化合物蒸气包含于惰性气体中。6.依据申请专利范围第5项之方法,其中惰性气体由氮气所构成。7.依据申请专利范围第2项之方法,其中气态燃料由甲烷及氧气所构成。8.一种制造光学波导装置之方法,其包含下列步骤:(a)制造出不含卤化物气流,其包含一组多种为蒸气形式之有机金属化合物,其能够转化为氧化物形式;(b)将该气流与气态燃料混合物混合以形成共同气流;(c)将该气流通入燃烧器火焰以形成氧化物粉尘颗粒,其中燃烧器包含能够产生均匀火焰点之内部调节组件;(d)将该氧化物粉尘颗粒沉积于支撑上以形成凝聚性氧化物粉尘层;(e)将氧化物粉尘层固结至玻璃层上;以及(f)形成含有该玻璃层之光学波导装置。9.一种制造集体光学波导于支撑性平面基板之方法,其包含下列步骤:(a)制造出不含卤化物气流,其包含一组多种为蒸气形式之有机金属化合物,其能够转化为氧化物形式;(b)将该气流与气态燃料混合物混合以形成共同气流;(c)将该气流通入燃烧器火焰以形成氧化物粉尘颗粒;(d)将该氧化物粉尘颗粒沉积于支撑上,该支撑被加热至一个提高温度而足以将该氧化物颗粒烧结于其中以形成玻璃层;以及(e)形成含有该玻璃层之集体光学波导装置。10.一种制造光学线路之方法,其包含下列步骤:(a)制造出不含卤化物气流,其包含一组多种为蒸气形式之有机金属化合物,其能够转化为氧化物形式;(b)将该气流与气态燃料混合物混合以形成共同气流;(c)将该气流通入燃烧器火焰以形成氧化物粉尘颗粒;(d)将该氧化物粉尘颗粒沉积于支撑上,该支撑悬吊于燃烧器上以形成凝聚性氧化物粉尘层;以及(e)由该氧化物粉尘层形成光学线路。11.依据申请专利范围第10项之方法,其中平面支撑在粉尘层沉积过程中在燃烧器火焰上移动通过。12.依据申请专利范围第11项之方法,其中支撑在沉积过程中为转动的。13.依据申请专利范围第10项之方法,其中支撑在沉积过程中为行星式运动移动于燃烧器火焰上方。14.一种形成氧化物粉尘层于平面基板上之装置,其包含(a)提供管线网路,其包含到达燃烧器输入管线作为将气流与气态燃料混合物混合以形成共同气流;(b)具有外壳之燃烧器,其包含具有燃烧器开口之上侧面板,其连接至输入管线通过共同内部歧管室;以及(c)平面基板支撑体放置于燃烧器上方,该支撑具有产生水平移动通过燃烧器面板之构件。15.依据申请专利范围第14项之装置,其中支撑亦提供将基板转动于燃烧器上方之构件。16.依据申请专利范围第14项之装置,其中燃烧器开口由延伸槽所构成。17.依据申请专利范围第14项之装置,其中燃烧器开口由一组多个洞孔所构成。18.依据申请专利范围第17项之装置,其中洞孔包含单排相等间距之洞孔。19.依据申请专利范围第14项之装置,其中燃烧器包含歧管室以及至少一个内部燃烧器调节构件,其能够在整个燃烧面长度产生均匀流动。20.依据申请专利范围第14项之装置,其中燃烧器调节构件包含两个插入构件,其彼此邻接以提供共同气流流动路径以均匀地分散至燃烧器开口。21.依据申请专利范围第14项之装置,其中燃烧器长度等于或长于平面基板之直径或宽度。22.一种形成氧化物粉尘层于基板上之装置,其包含(a)提供管线网路,其包含到达燃烧器输入管线作为将气流与气态燃料混合物混合以形成共同气流;(b)具有外壳之燃烧器,其包含具有至少一个燃烧器开口之上侧面板,其连接至输入管线通过共同内部歧管室,该歧管室包含产生均匀气流至燃烧器开口之调节构件;以及(c)平面基板支撑体放置于燃烧器上方,该支撑具有产生水平移动通过燃烧器面板之构件。23.依据申请专利范围第22项之装置,其中燃烧器开口由延伸槽所构成。24.依据申请专利范围第22项之装置,其中燃烧器开口由一组多个洞孔所构成。图式简单说明:第一图为本发明火焰水解系统示意图。第二图为燃烧器放大透视图,其显示出火焰前端以及尾端,以及燃烧器对试样高度如何量测出。第三图为燃烧器组件分解透视图。第三图a为通过第三图中所显示燃烧器中心之断面图。第四图为燃烧器组件侧面断面图。第五图为基板固定器真空夹头装置平面图。第六图为燃烧器装置第二实施例透视图。第七图显示出固结玻璃粗糙度为燃烧器对试样高度及燃烧器列数之函数。第八图显示出组成份为试样对燃烧器高度之函数。 |
