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发明名称 WAFER SUPPORTING BOAT
摘要
申请公布号 KR100227915(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19950032190 申请日期 1995.09.27
申请人 YAMAGATA SHIN-ETSU QUARTZ CO., LTD.;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 发明人 SUICHI, KOBAYASHI;MASAYUKI, KOBAYASHI;TSUTOMU, YURI;YOICHI, SERIJAWA;MAMORU, AKIMOTO;SHINICHI, OKOSHI
分类号 C30B31/14;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 C30B31/14
代理机构 代理人
主权项
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