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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE METHOD
摘要
申请公布号 KR100228347(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960008037 申请日期 1996.03.23
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, MIN-KYU
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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