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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SAMPLE FOR TEM ANALYSIS
摘要
申请公布号 KR100227825(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960040945 申请日期 1996.09.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 AN, CHAN-KUK;OK, CHANG-HYUK;IM, CHANG-SOP
分类号 G01N1/28;G01N1/32;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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