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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION AND METHOD OF FORMING PATTERNS
摘要
申请公布号 KR100228468(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19970015409 申请日期 1997.04.24
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 WATANABE, OSAMU;FURIHATA, TOMOYOSHI;NAGURA, SHIGEHIRO;ISHIHARA, TOSHINOBU;YAMAOKA, TSUGIO;YATANABE, SATOSHI;TAKEDA, YOSHIFUMI
分类号 G03F7/039;C08F8/00;C08F112/14;C08K5/13;C08K5/17;C08K5/34;C08K5/42;C08L25/18;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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