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发明名称 APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND METHOD FOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR100228768(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960043625 申请日期 1996.10.02
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 YOU, YONG-SIK;BAEG, YONG-GOO;PARK, YOUNG-JIN;KIM, JONG-CHEOL
分类号 C30B35/00;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人
主权项
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