| 发明名称 |
PARTICLE MONITORING INSTRUMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100227769(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.01 |
| 申请号 |
KR19970069151 |
申请日期 |
1997.12.16 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
UESUGI, FUMIHIKO;ITO, NATSUKO |
| 分类号 |
G01N15/06;G01N15/02;G01N15/14;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/02 |
主分类号 |
G01N15/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
