发明名称 PHOTORESIST POLYMER FOR DEEP UV AND SYNTHETIC METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100228771(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960068907 申请日期 1996.12.20
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 JUNG, JAE-CHANG;BOK, CHEOL-JYU;BAIK, KI-HO
分类号 G03F7/031;(IPC1-7):G03F7/031 主分类号 G03F7/031
代理机构 代理人
主权项
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